同轴TKD测试
基于EBSD技术相同的硬件与软件, 离轴TKD测试时信号接收器在样品下方接收透射电子衍射信号,而不是EBSD技术的传统的背散射电子信号,分辨率由EBSD技术的几十纳米提高到了离轴TKD技术的10 nm左右。由于电子束、样品和接收器同轴的原因,同轴TKD技术进一步提高了信号接收能力。此外,由于同轴TKD模式信号接收的对称性,使得离轴TKD方法得到的扭曲信号得以矫正。同轴TKD的分辨率可以提升到5 nm左右,适合一些变形量比较大以及纳米晶材料晶体取向的解析。
设备型号:Apero 2C+布鲁克OPTIMUS 2