·设备型号：3MV 串列加速器

·离子种类：H、He、C、Si、Ni、Cu、Au 等

·可测元素：H/He/C/O同位素（依赖于核反应）

·真空度：＜1.5×10-4Pa

·深度分辨率：50~500 nm（取决于实验参数）

·分析特点：直接分析绝对含量, 特定元素灵敏度极高

·分辨率： ppm级别

·样品尺寸要求：直径≤20mm，厚度不超过3mm

·样品制备要求：样品表面清洁、平整、无油污、

粉尘等污染物。