定位和扫描(Scout-and-Scan)控制系统
40×物镜可实现500 nm的空间分辨率以及小至40 nm的体素
基于同步辐射口径光学元件的两级放大架构
用于系统/样品保护的SmartShield
可实现高性能的系统稳定性
选配的平板探测器(FPX)可实现大观察视野成像
选配的高级重构工具箱可增强性能