电子束分辨率：0.7nm（30keV），1.4nm（1keV）

电子束加速电压范围：200V~30kV

电子束电流范围：1pA~400nA

离子光学系统加速电压范围：500V~30kV

离子光学系统电子束电流范围：1.5pA~65nA

探测器：

T1分割式透镜内低位探测器、T2 透镜内高位探测器

ETD— Everhart-Thornley 二次电子探测器

STEM3+ 可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF)

Thermo Scientific EasyLiftTM 系统用于精确原位样品操纵

GIS气体注入：— 钨沉积

AutoTEM4软件：用于最快速、最简单的高度自动化TEM样品制备

ThermoScientific MAPSTM软件：用于大区域的自动图像采集、拼接和关联

Nanobuilder批量自动化图案设计与微纳加工

布鲁克EBSD/同轴TKD探头

ETD、STEM、BF成像

制备高质量TEM、原位加热/力学样品，原子探针等样品

高分辨率EBSD/同轴TKD表征

样品表面要平整

样品尺寸：在满足FIB切样区域面积的情况下，尺寸在越小越好；最优推荐尺寸为：长宽高=3*5*0.5 mm

样品干净、无污渍和线切割划痕

请做好标记或提供前期SEM测试的图片，可以清楚找到需要定点制样的区域

如果需要用EBSD辅助定位，确定特定的位置或晶粒取向，进而进行FIB制样，需要提前沟通好，费用会适当增加。

1、当现场机时比较紧张时，建议进行委托测试，委托测试效率更高，可保证时效性。

2、现场测试均从抽真空开始计时收费。

3、自行制样导致测试结果不理想也将收取机时费用，如用时不超过20min，收取200上机费，超过20min，按照正常测试机时收费。

4、现场测试客户自己为测试内容及结果质量负责，我司制样不理想，请及时告知测试工程师终止测试，重新制样再安排机时测试（不重复收取制样费和测试费）；若测试过程无重新制样要求而继续测试，测试结束后反映结果不理想也将正常收取机时费用。

5、委托测试由客户提供测试要求，我司项目经理评估测试要求后统一报价，在保障客户的权益方面，我们从制样-测试-数据处理各环节保障其预期的结果，我司对测试结果和研究目的负责（不合理的要求另当别论）。

1、FIB能切多大的区域？

答：球差样品可观察薄区4*4μm，常规样品6*4μm，特殊样品需与我们商议。

2、取样方式lift-out与plan-view的区别？

答：取样方向与样品表面的位向关系不同，lift-out为垂直关系，plan-view为平行关系。