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MeV 能量的离子（通常是质子）轰击样品。离子与靶原子的内层电子相互作用，使其电离，从而在内层电子轨道留下一个空位。外层电子跃迁来填充这个空位时，会释放出具有该原子特征能量的X射线。通过用硅漂移探测器测量这些特征X射线的能量和强度，就可以确定元素的种类和含量。
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预约次数：
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设备信息

·设备型号：3MV 串列加速器

·离子种类：H、He、C、Si、Ni、Cu、Au 等

·可测元素：同时分析Al ~ U之间的数十种元素

·真空度：＜1.5×10-4Pa

·分析特点：灵敏度极高，配合标样或理论模型进行计算

·分辨率：ppb ~ ppm

样品要求

·样品尺寸要求：直径≤20mm，厚度不超过3mm

·样品制备要求：样品表面清洁、平整、无油污、

粉尘等污染物

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