1、前言

截止2022年5月20日，我们的电镜已经安装完毕。除了EELS部分的调试工作还未完成外，其他安装工作均已完成。此台设备的安装过程，我们进行了B站全网直播，第一次向社会大众展示高端电子显微镜的安装过程。

TEM自主安装过程的部分视频，在B站上有回放，感兴趣的欢迎点击视频链接：

《场发射TEM安装视频》

2、设备配置与技术参数

加速电压： 200 kV

高分辨极靴 (S-TWIN)

放大倍数：25-1,000,000

点分辨率：0.24nm

线分辨率：0.14nm；

STEM分辨率：优于0.2 nm

电子束能量色散：< 0.7eV

全新牛津能谱仪 (EDS)：5B～92U；能量分辨率：～136eV

样品最大倾斜角：±40度

3、仪器选件及功能

X射线能谱仪（EDS）（用于样品成分分析）

电子能量损失谱 （EELS）(用于元素价态分析)

STEM和HAADF探头（用于测试STEM-HAADF暗场像，并于EDS结合测试点、线、面的元素分布）

双倾样品杆（用于测量需要两个方向倾转的样品）

4、检测项目

低倍形貌像、高分辨像、选区电子衍射、暗场像、成分分析、元素分布、价态分析和元素过滤像。

5、检测标准

JY/T 011－1996 透射电子显微镜方法通则

这台电镜的功能可以满足90%的常规TEM操作，TEM高分辨的效果非常好，但是，截至目前（2022年6月4日）EELS还没有安装好，与化学价态及能量过滤像相关的工作，这台电镜无法使用，需要用到球差电镜才能完成。

1、当现场机时比较紧张时，建议进行委托测试，委托测试效率更高，可保证时效性。

2、磁性块体样品可以测试，磁性粉末样品、含有磁性颗粒的液体不能测试，可尝试用FIB将磁性粉末颗粒焊接牢固后安排电镜测试。

3、现场测试均从抽真空开始计时收费。

4、自行制样导致测试结果不理想也将收取机时费用。

5、现场测试客户自己为测试内容及结果质量负责，如我司制样没有薄区【除FIB制样外，我司从不对指定位置薄区做出任何保证】，请及时告知测试工程师终止测试，重新制样再安排机时测试（不重复收取制样费和测试费）；若测试过程无重新制样要求而继续测试，测试结束后反映结果不理想也将正常收取机时费用。

6、委托测试由客户提供测试要求，我司项目经理评估测试要求后统一报价，在保障客户的权益方面，我们从制样-测试-数据处理各环节保障其预期的结果，我司对测试结果和研究目的负责（不合理的要求另当别论）。