掠入射X射线衍射(GIXRD)是一种让×射线略过样品表面的技术，这种技术能够更真实全面地表征出薄膜（特别是共辄聚合物薄膜)的微结构。测试光是平行光，相对于常规的衍射光来说能量较小，因此掠入射测试XRD的谱图绝对峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息，也不容易测到基底。