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白光干涉仪
设备型号：ContourX-100 主要功能：用于非接触式表面形貌测量和微观结构分析
服务周期：
3-5个工作日
预约次数：
1
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委托测试
技术参数

1. 最大量程：小于10mm

2. 垂直分辨率：小于0.01nm

3. XY样品台：小于150mm

4. 倾斜角度：±6°

5. 摄像头：像素500万，阵列1200 x 1000

6. 1个10倍干涉物镜和8um台阶标样。

测试案例1
电沉积铜样品表面三维形貌
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