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电子探针作为微区形貌观察与元素定性定量分析完美结合的仪器，在科研、工业产品开发、质量管理及生产在线检查方面发挥着重要的作用。
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仪器参数

设备参数

加速电压：1-30kV

束流：10-12-3×10-6A

束斑尺寸：≤20nm@10kV

SE分辨率：2.5nm@30kV

分析元素：B5-U92

谱仪道数：4道波谱仪

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