离子源

离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体

减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节

离子束能量 100eV 到6.0 KeV

光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM

离子电流密度 最大 10mA/cm2

离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束

离子束尺寸 通过气体控制调整

真空

干燥泵系统 两个部分，隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵

压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力

8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力

真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器

样品调换 Gatan专利 WhisperlokTM，样品更换时间＜1分钟

样品的Airlock <30 秒

功率

能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W

电源要求 通用电压 100VAC-240VAC，50/60Hz（用户需确定电压和频率）

气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

使用 X、Y 样品台来把减薄区域精确定位到离子束交叉点

改进低电压性能的离子枪，有用电压低至 100 伏，从而快速安全地对 FIB 制备的TEM样品进行抛光

利用 DigitalMicrograph® 软件和光学数码显微镜进行图像存储和分析

10 英寸彩色触摸屏可用于显示和控制所有 PIPS™ II 参数

问题1：是否可以对外开放预约机时，现场过去制备样品？

回复1：目前，虽然我们的离子减薄仪制样工作量非常大，工作日白天没有多余机时。但为了更大程度的为大家服务，同时也降低客户制样的费用，将晚上通宵的机时（24：00-8：00），以较低的价格对外开放。