1、前言

2021年国庆期间，这台300 kV场发射电子显微镜，跨越千山万水，来到我们实验室，由于分辨率指标很高，成为了我们的对外合作与开展测试服务的主要设备之一。

这台设备的功能齐全，含STEM-HAADF, Oxford EDS, Nanomegas Precession electron diffraction, Orientation mapping in TEM, In situ TEM tests: tensile, compression, bending and heating.

TEM原位测试是这台电镜的一个拓展功能，应用非常广泛。

加速电压： 100 kV/300kV

点分辨率：0.20nm；线分辨率：0.10nm；信息分辨率：0.14nm

物镜球差系数Cs：1.2mm；物镜色差系数Cc：1.4mm

聚焦长度：2.3mm；最小聚焦步长：0.3nm

最小束斑尺寸：0.3nm；最大会聚角：±12°

TEM放大倍数：60×~1000000×

选区衍射相机常数：35mm~2300mm

STEM放大倍数：50×~3000000×

STEM图像分辨率：0.17 nm

样品台最大倾角：±40°

Gatan 4K*4K 16M相机

牛津能谱仪EDS：Oxford Xplore 80mm2

1、当现场机时比较紧张时，建议进行委托测试，委托测试效率更高，可保证时效性。

2、磁性块体样品可以测试，磁性粉末样品、含有磁性颗粒的液体不能测试，可尝试用FIB将磁性粉末颗粒焊接牢固后安排电镜测试。

3、现场测试均从抽真空开始计时收费。

4、自行制样导致测试结果不理想也将收取机时费用。

5、现场测试客户自己为测试内容及结果质量负责，如我司制样没有薄区【除FIB制样外，我司从不对指定位置薄区做出任何保证】，请及时告知测试工程师终止测试，重新制样再安排机时测试（不重复收取制样费和测试费）；若测试过程无重新制样要求而继续测试，测试结束后反映结果不理想也将正常收取机时费用。

6、委托测试由客户提供测试要求，我司项目经理评估测试要求后统一报价，在保障客户的权益方面，我们从制样-测试-数据处理各环节保障其预期的结果，我司对测试结果和研究目的负责（不合理的要求另当别论）。