（1）位移测量方式 电容位移传感器

（2）压头总的位移范围; 1.5mm

（3）最大压痕深度 >500um

（4）位移分辨率 <0.01nm

（5）载荷分辨率 50nN

（6）框架刚度5x10^6N/m

（7）有效使用面积 100mmX100mm

（8）总的放大倍率为1000倍

1.样品要求圆柱体或方块体，高度3-8 mm，宽度5-30 mm。上下面平行，测试面抛光；薄膜样品需要制样测，不规则样品或者过小的样品需要硬树脂镶嵌后抛光处理。

2.连续刚度模式或者硬度大于20Gpa的样品特殊联系。若有其他情况，请联系我方人员沟通。

3.测试面平整、光亮、无划痕（推荐机械抛光、电解抛光或氩离子抛光）